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APPARATUS FOR SUPPLYING PLASMA
专利权人:
주식회사 피글
发明人:
김영민,이현영,최정해
申请号:
KR1020180103993
公开号:
KR1021194940000B1
申请日:
2018.08.31
申请国别(地区):
KR
年份:
2020
代理人:
摘要:
The present invention relates to a plasma supply device for supplying plasma to the body. Plasma supply apparatus according to an embodiment of the present invention, a space is formed inside, and the main body is opened to one side toward the body portion so that the space communicates with the outside; A plasma generator for generating plasma; It includes a sealing member for sealing the space between the one surface and the body from the outside, the space is provided with a partition wall for dividing the space into a first space and a second space when looking at the one surface, the plasma generating unit is A first flow forming unit for generating a plasma in the first space and forming a flow of fluid to discharge the fluid in the interspace to the outside through the second space is provided in the second space.본 발명은 체부에 플라즈마를 공급하는 플라즈마 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 에에 따른 플라즈마 공급 장치는, 내부에 공간이 형성되고, 상기 공간이 외부와 연통되도록 체부를 향하는 일면이 개방되는 본체와; 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부와; 상기 일면 및 체부의 사이 공간을 외부로부터 밀폐시키는 밀폐 부재를 포함하되, 상기 공간에는 상기 일면을 바라볼 때 상기 공간을 제 1 공간 및 제 2 공간으로 양분하는 격벽이 제공되고, 상기 플라즈마 발생부는 상기 제 1 공간에 플라즈마를 발생시키고, 상기 제 2 공간에는 상기 사이 공간의 유체를 상기 제 2 공간을 통해 외부로 배출하도록 유체의 흐름을 형성하는 제 1 유동 형성부가 제공된다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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