PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromechanical transducer capable of improving yield and obtaining a cavity having a good internal flatness, and to provide a method of fabricating the same.SOLUTION: The electromechanical transducer is fabricated in such a manner that an SOI substrate 209 having an active layer 210 whose surface is planarized on a supporting substrate 201 with a thermal oxide insulating layer 205 interposed therebetween is provided the active layer is patterned into a cavity shape insulating films 206 and 207 are formed on the patterned active layer an etching hole 203 passing through the insulating films and communicating with the active layer is formed and a cavity 202 is formed by etching away the active layer using the etching hole.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】歩留りの向上が可能で、内部の平坦性の良好なキャビティを得ることが可能な電気機械変換装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】電気機械変換装置の製造において、支持基板201上に、熱酸化による絶縁層205を介して表面が平坦化処理された活性層210を備えたSOI基板209を用意し、活性層をキャビティ形状にパターニングする。パターニングされた活性層上に絶縁膜206、207を形成し、絶縁膜を貫通して活性層に連通するエッチング孔203を形成する。エッチング孔を利用して活性層をエッチング除去してキャビティ202を形成する。【選択図】図1
