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超音波トランスデューサ及びその製造方法、並びに超音波検査装置
专利权人:
株式会社日立製作所
发明人:
町田 俊太郎,龍崎 大介
申请号:
JP2016513595
公开号:
JP6267787B2
申请日:
2014.04.18
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
Provided are: a structure whereby an increase of a drive voltage in a capacitive ultrasonic transducer can be suppressed, and an ultrasonic transmission sound pressure of a CMUT can be increased and a method for manufacturing the structure. The present invention is characterized in that capacitive ultrasonic transducer cells are laminated such that, when viewed from an upper surface of a first main surface of a substrate, hollow layer regions of all the lower layer ultrasonic transducer cells are included in a hollow layer region of the topmost layer ultrasonic transducer cell.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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