膜厚測定装置、研磨装置、膜厚測定方法、及び、研磨方法

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专利权人:

株式会社荏原製作所

发明人:

中村 顕

申请号：

JP20160138434

公开号：

JP2018009861(A)

申请日:

2016.07.13

申请国别(地区):

日本

年份:

2018

代理人:

摘要：

【課題】事前に必要な膜厚の測定回数を従来よりも減らすことができる膜厚測定装置、研磨装置、膜厚測定方法、及び、研磨方法を提供する。【解決手段】渦電流センサ２１０により研磨対象物１０８に形成可能な渦電流をインピーダンスとして検出する。直交座標軸を有する座標系の各軸に、インピーダンスの抵抗成分とリアクタンス成分をそれぞれ対応させる。角算出部２３４は、膜厚がゼロであるときのインピーダンスに対応する第１の点と、膜厚がゼロでないときのインピーダンスに対応する第２の点とを結ぶ第１の直線と、第１の点を通る円の直径とのなす角の正接を算出する。膜厚算出部２３８は、正接から膜厚を求める。【選択図】図１

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/