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マイクロリソグラフィのための投影露光ツールを作動させる方法
- 专利权人:
- カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
- 发明人:
- コンラディ オラフ,トーツェック ミハエル,レーリンク ウルリッヒ,ユルゲンス ディルク,ミューラー ラルフ,ヴァルト クリスチャン
- 申请号：
- JP20160182933
- 公开号：
- JP2017016145(A)
- 申请日:
- 2016.09.20
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】マイクロリソグラフィのための投影露光ツール（１０）を作動させる方法を提供すること。【解決手段】投影露光ツール（１０）は、電磁放射線（１３，１３ａ，１３ｂ）を用いてマスク（２０）上の物体構造を像平面（２８）に結像するために、結像中に、電磁放射線（１３ｂ）が、投影対物系（２６）の光学特性の変化を引き起こす投影対物系（２６）を有する。本方法は、結像されるマスク（２０）上の物体構造のレイアウトを与え、物体構造をそれらの構造タイプに従って分類する段階と、物体構造のこの分類に基づいて、結像工程中にもたらされる投影対物系（２６）の光学特性の変化を計算する段階と、物体構造を像平面（２８）に結像するために投影露光ツール（１０）を使用し、結像工程中に電磁放射線（１３，１３ａ，１３ｂ）に
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
