The present invention provides a sterilization device and a method of use thereof. The sterilization device includes at least one sterilization chamber in which to sterilize at least one item, at least one microplasma generating system for generating microplasma, the microplasma for sterilizing the at least one item, wherein the at least one microplasma generating system is connected to the at least one sterilization chamber and at least one distribution system for distributing a microplasma generating material to the microplasma generating system, wherein the at least one distribution system is connected to the at least one microplasma generating system. Furthermore, the present invention provides a method of generating microplasma.La présente invention concerne un dispositif de stérilisation et un procédé d'utilisation correspondant. Le dispositif de stérilisation comprend au moins une chambre de stérilisation pour stériliser au moins un article, au moins un système de génération de microplasma pour générer un microplasma, le microplasma étant destiné à stériliser ledit au moins un article, ledit au moins un système de génération de microplasma étant relié à ladite au moins une chambre de stérilisation, et au moins un système de distribution pour distribuer un matériau de génération de microplasma au système de génération de microplasma, ledit au moins un système de distribution étant relié audit au moins un système de génération de microplasma. En outre, la présente invention concerne un procédé de génération de microplasma.