증류 시에 있어서의 (메트)아크릴레이트 화합물의 중합을 방지하고, 불순물의 함유량이 적은 (메트)아크릴레이트 화합물을 양호한 생산성으로 제조 가능한 (메트)아크릴레이트 화합물의 제조 방법 및 (메트)아크릴레이트 화합물의 정제 방법과, 불순물의 함유량이 적은 (메트)아크릴레이트 화합물을 제공한다. 본 발명의 (메트)아크릴레이트 화합물의 제조 방법 및 정제 방법은, 목적의 (메트)아크릴레이트 화합물을 포함하는 혼합물에, 분자량 150 이상 270 미만의 N-옥실 화합물 A와, 분자량 270 이상의 N-옥실 화합물 B를 첨가한 후, 증류를 행하여, 목적의 (메트)아크릴레이트 화합물을 회수한다. 본 발명의 (메트)아크릴레이트 화합물은, 상기 방법으로 얻어진 것으로서, HPLC 순도가 98% 이상, 및/또는 Na 함유량이 10ppb 이하이다.
