Magnetic core assembly for transformer coupled plasma reactor

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专利权人:

최대규

发明人:

최대규

申请号：

KR20150152385

公开号：

KR20170050615(A)

申请日:

2015.10.30

申请国别(地区):

韩国

年份:

2017

代理人:

摘要：

본 발명은 트랜스포머 커플드 플라즈마 장비를 위한 마그네틱 코어 어셈블리에 관한 것이다. 본 발명의 트랜스포머 커플드 플라즈마 장비를 위한 마그네틱 코어 어셈블리는 다수의 막대형 자석으로 이루어지는 마그네틱 코어; 및 상기 마그네틱 코어가 마주보며, 다층으로 적층되도록 상기 마그네틱 코어의 외관을 둘러싼 클램핑부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 트랜스포머 커플드 플라즈마 장비를 위한 마그네틱 코어 어셈블리는 공정챔버에서 처리된 가스를 높은 분해효율을 갖도록 플라즈마 처리할 수 있다. 또한, 클램핑을 통하여 마그네틱 코어의 형상에 구애받지 않는 어셈블리를 제작할 수 있는 효과가 있다.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/