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초음파 변환기 및 그 제조방법
专利权人:
SAMSUNG ELECTRONICS CO.; LTD.
发明人:
HONG, SEOG WOOKR,홍석우
申请号:
KR1020120136553
公开号:
KR1020140068717A
申请日:
2012.11.28
申请国别(地区):
KR
年份:
2014
代理人:
摘要:
Disclosed are an ultrasonic transducer and a manufacturing method for the same. the disclosed ultrasonic transducer includes a plurality of protrusion units installed on a conductive substrate to be separated from each other a via hole penetrating the conductive substrate or one among the protrusion units a first electrode including metal and filling the via hole a second electrode installed on the lower surface of the conductive substrate a membrane forming a plurality of cavities between the conductive substrate by being installed on the protrusion units and an upper electrode installed on the membrane to come into contact with the first electrode.COPYRIGHT KIPO 2014초음파 변환기 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 초음파 변환기는, 도전성 기판 상에 이격되게 마련되는 복수의 돌출부와, 상기 돌출부들 중 적어도 하나 및 상기 도전성 기판을 관통하도록 형성되는 비아홀과, 상기 비아홀을 채우도록 마련되는 것으로, 금속을 포함하는 제1 전극과, 상기 도전성 기판의 하면에 마련되는 제2 전극과, 상기 돌출부들 상에 마련되어 상기 도전성 기판과의 사이에 복수의 캐비티를 형성하는 멤브레인과, 상기 멤브레인 상에 상기 제1 전극과 접촉하도록 마련되는 상부 전극을 포함한다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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