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Ultrasonic transducer element and ultrasonic endoscope
专利权人:
オリンパス株式会社
发明人:
松本 一哉,若林 勝裕
申请号:
JP2014546920
公开号:
JP6061950B2
申请日:
2013.10.25
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
An ultrasound transducer element 20 includes: a substrate 11; and a cell group 10Z including a plurality of cells 10 each of which includes a lower electrode 12 arranged on the substrate 11, a membrane 18 including an upper electrode 16 arranged facing the lower electrode 12 with a cavity 14H positioned therebetween, and a plurality of pillars 14 forming the cavity 14H by supporting the membrane 18, each cavity 14H mutually communicating with one another.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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