化学机械研磨浆液及其使用方法
- 专利权人:
- 长兴化学工业股份有限公司
- 发明人:
- 陈宝丞,李宗和,刘文政
- 申请号：
- CN200310121214.6
- 公开号：
- CN1629246A
- 申请日:
- 2003.12.15
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2005
- 代理人:
- 程伟`戈泊
- 摘要：
- 本发明提供一种用于半导体制程中的化学机械研磨浆液，此浆液包含一种复合研磨粒子。该复合研磨粒子是由表面包覆氧化铝的基材粒子所构成。本发明进一步关于该浆液用于研磨半导体圆片的化学机械研磨方法。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
