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氧化锡氧化铝基低浓度丙酮气体传感器及其制备方法
- 专利权人:
- 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
- 发明人:
- 何丹农,陈俊琛,金彩虹
- 申请号：
- CN201510192671.7
- 公开号：
- CN104820068B
- 申请日:
- 2015.04.22
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 唐莉莎
- 摘要：
- 本发明涉及一种低浓度丙酮气体传感器的制备方法，属于金属氧化物半导体气体传感器制备工艺技术领域。本发明的气体传感器主要特点是：在氧化铝陶瓷管表面涂覆了双层具有多孔结构的纳米敏感材料，内层基体材料为Pt掺杂的纳米多孔SnO2，外层增敏材料为纳米多孔Al2O3。将涂上Pt掺杂的多孔SnO2基体材料的气敏元件经500℃焙烧2小时后，再将多孔Al2O3增敏材料均匀涂覆在外表面；室温下晾干后，按厚膜半导体气敏元件制作工艺进行焊接（包括引线铂丝及陶瓷管空腔内的镍-镉加热丝）；老化，封装，即制得低浓度丙酮气体传感器。本发明制得的传感器对丙酮气体具有检测限低、响应恢复时间快、稳定性好等优点。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
