一种含氮氧化物气体传感器的制备方法

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专利权人:

江苏时瑞电子科技有限公司

发明人:

汪洋,李训红,汪雪婷

申请号：

CN201710361842.3

公开号：

CN107153083A

申请日:

2017.05.22

申请国别(地区):

中国

年份:

2017

代理人:

楼高潮

摘要：

本发明提供了一种含氮氧化物气体传感器的制备方法，先将金属铟加至稀硝酸中，加热保温，滴加氨水，过滤，洗净并干燥，将所得In(OH)₃加至冰醋酸中，搅拌，加入去离子水，加热保温，滴加乙醇，超声，得到In₂O₃纳米晶，滴加正硅酸乙酯的乙醇溶液后加热保温，然后将所得凝胶在120℃下烘焙后在500℃下灼烧，冷却后研磨，得到掺杂SiO₂的In₂O₃纳米晶；最后将掺杂SiO₂的In₂O₃纳米晶、羧甲基纤维素加至松油醇中，研磨，涂敷于气敏器件上，干燥后老化，即得。本发明所得传感器对NO₂在1‑30ppm浓度范围内有线性响应，线性范围较宽。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/