光学镀膜膜厚反射率的测量及显示方法
- 专利权人:
- 河南中光学集团有限公司
- 发明人:
- 赵升林,孙龙,菊池和夫
- 申请号：
- CN200710054020.7
- 公开号：
- CN101017211A
- 申请日:
- 2007.02.27
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2007
- 代理人:
- 张晓萍
- 摘要：
- 本发明涉及一种用于光学镀膜监控的光学镀膜膜厚反射率的测量及显示方法，它是利用计算机快速准确的数据处理功能，对薄膜蒸镀过程中反射率的变化进行在线测量和实时显示，并依据镀膜曲线峰值或谷值点的反射率值精确地确定蒸镀停止点。使用该方法，可以直观、精确地观察当前膜层蒸镀过程，更加快速地计算峰值点处光学基件的实际折射率和实际蒸镀膜厚，并能准确地确定和控制镀膜的停止点，从而获得高精密度的光学镀件。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
