核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液
- 专利权人:
- 大连三达奥克化学股份有限公司
- 发明人:
- 侯军
- 申请号：
- CN201010543029.6
- 公开号：
- CN101974297A
- 申请日:
- 2010.11.12
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 闪红霞
- 摘要：
- 本发明公开提供一种可降低抛光表面粗糙度、减少表面缺陷的核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液，所用原料及质量百分比为：核/壳型复合纳米磨料1%~10%，络合剂0.5%~2%，成膜剂0.01%~2%，分散剂0.5%~3%，氧化剂0.5%~10%，纯水余量，所述核/壳型复合纳米磨料是粒径为200~2000nm的无机-有机核/壳型复合纳米颗粒，内核为SiO2、Al2O3或金刚石中的一种，外壳为丙烯酸酯高分子链聚合物。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
