用于研磨的无机氧化物颗粒淤浆及调节所述颗粒的磨蚀性的方法
- 专利权人:
- 格雷斯公司
- 发明人:
- J·N·普赖尔
- 申请号：
- CN99814723.0
- 公开号：
- CN1142989C
- 申请日:
- 1999.10.21
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2004
- 代理人:
- 王其灏
- 摘要：
- 用压热器处理多孔的、无机氧化物颗粒的淤浆，所述处理方法导致所述颗粒的磨损性增加，表现为当按标准抛光条件进行化学机械抛光时，被抛光基材的除去速率增加。本发明提供了具有新型磨损性的淤浆，具体地说，是以二氧化硅为基础的淤浆。颗粒磨损性的增加与颗粒表面积的减少有很大关系，其中表面积由氮气吸附法测定(BET法)。因此，通过采用加热无机氧化物颗粒的淤浆使其达到某BET表面积的方法可获得具有符合要求的磨损度的淤浆，而已经证实，BET法测定的比表面积与所需的磨损度有关。所得的淤浆可用于传统的抛光机。所述方法特别适合制备以二氧化硅为基础的研磨淤浆。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
