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用于研磨的无机氧化物颗粒淤浆及调节所述颗粒的磨蚀性的方法
专利权人:
格雷斯公司
发明人:
J·N·普赖尔
申请号:
CN99814723.0
公开号:
CN1331733A
申请日:
1999.10.21
申请国别(地区):
中国
年份:
2002
代理人:
王其灏
摘要:
用压热器处理多孔的、无机氧化物颗粒的淤浆,所述处理方法导致所述颗粒的磨损性增加,表现为当按标准抛光条件进行化学机械抛光时,被抛光基材的除去速率增加。本发明提供了具有新型磨损性的淤浆,具体地说,是以二氧化硅为基础的淤浆。颗粒磨损性的增加与颗粒表面积的减少有很大关系,其中表面积由氮气吸附法测定(BET法)。因此,通过采用加热无机氧化物颗粒的淤浆使其达到某BET表面积的方法可获得具有符合要求的磨损度的淤浆,而已经证实,BET法测定的比表面积与所需的磨损度有关。所得的淤浆可用于传统的抛光机。所述方法特别适合制备以二氧化硅为基础的研磨淤浆。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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