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研磨无机氧化物颗粒的浆液以及含铜表面的抛光方法
- 专利权人:
- 格雷斯公司
- 发明人:
- J·N·普赖尔
- 申请号：
- CN01811444.X
- 公开号：
- CN1437643A
- 申请日:
- 2001.04.11
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2003
- 代理人:
- 王景朝`罗才希
- 摘要：
- 将氧化剂添加至已加热例如高压处理的无机氧化物浆液中，从而生产研磨浆液，对于用来制备半导体晶片的导电金属层和绝缘层而言，所述浆液将赋予相对平等的抛光速率。另外，通过所述浆液还提供了就其研磨性而言相对灵活的研磨浆液，借此，当将新绝缘材料用来制备晶片时，能够对铜抛光浆液的研磨性加以改进。当利用该方法时，该浆液颗粒研磨性的增加相应于通过N2吸附(BET法)测量的颗粒表面积的下降，并且研磨性可通过对浆液的加热而增加(或下降)，从而生产出具有所希望研磨性而确定的表面积的颗粒。该方法特别适于制备二氧化硅基研磨浆液，并且所制得的浆液特别适用于对由铜导电电路和二氧化硅基绝缘层制得的晶片进行抛光。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
