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光画像計測装置
专利权人:
TOPCON CORP
发明人:
SHIBUYA MASAHIRO,澁谷 雅博,MORIGUCHI YOSHIKIYO,森口 祥聖
申请号:
JP2013207591
公开号:
JP2015070919A
申请日:
2013.10.02
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology capable of capturing an image from which a fixed pattern noise has been removed, regardless of an image or noise mode without considerably adding hardware.SOLUTION: An optical image measuring device includes an interference optical system and image forming means. The interference optical system divides light from a wavelength scan type light source into signal light and reference light and detects interference light of signal light and reference light passing through an object to be measured. On the basis of the interference light detected by the interference optical system, the image forming means forms an image of the object to be measured. The interference optical system includes an optical member disposed in an optical path of the signal light or an optical path of the reference light. The image forming means calculates a phase shift caused by an optical member, corrects a phase of a spectrum of the interference light on the basis of the calculated phase shift, and forms the image on the basis of the corrected spectrum of the interference light.COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】ハードウェアを大幅に追加することなく、画像やノイズの態様にかかわらず固定パターンノイズが除去された画像の取得が可能な技術を提供する。【解決手段】光画像計測装置は、干渉光学系と、画像形成手段とを含む。干渉光学系は、波長走査型光源からの光を信号光と参照光とに分割し、被測定物体を経由した信号光と参照光との干渉光を検出する。画像形成手段は、干渉光学系により検出された干渉光に基づいて被測定物体の画像を形成する。干渉光学系は、信号光の光路又は参照光の光路に配置された光学部材を含む。画像形成手段は、光学部材による位相ずれを求め、求められた位相ずれに基づいて干渉光のスペクトルの位相を補正し、補正された干渉光のスペクトルに基づいて画像を形成する。【選択図】図2
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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