METHOD FOR CONTROLLING THE DEFECT RATE IN FILMS OBTAINED WITH MIXTURES OF BLOCK COPOLYMERS AND POLYMERS
- 专利权人:
- 아르끄마 프랑스
- 发明人:
- 나바로 크리스토쁘,니꼴레 셀리아,슈발리에 사비에
- 申请号:
- KR20177006580
- 公开号:
- KR20170042666(A)
- 申请日:
- 2015.09.09
- 申请国别(地区):
- 韩国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 본 발명은 표면 상에 데포짓된 블록 공중합체들 및 중합체의 블렌드를 포함하는 조성물을 사용하여 얻어진 막들에서의 결함들 레벨을 제어하는 방법에 관한 것이다. 중합체들은 블록 공중합체들 중 하나의 블록 또는 다른 블록에 존재하는 것들과 동일한 적어도 하나의 단량체를 포함한다.
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心