INSPECTION STAND INSPECTION SYSTEM AND INSPECTION METHOD

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专利权人:

주식회사 고영테크놀러지

发明人:

김관성,김명호,박남규,김주혁

申请号：

KR20160014364

公开号：

KR101810991(B1)

申请日:

2016.02.04

申请国别(地区):

韩国

年份:

2018

代理人:

摘要：

검사부의 이상 유무를 자동으로 검증하기 위한 검사대, 검사 시스템 및 검사 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 검사대는 검사체에 조사되어 반사된 광을 수신하는 검사부의 이상 여부를 검증하기 위한 검증 기준체를 포함하고, 검증 기준체는, 검사부의 이동에 대한 정밀도를 검증하기 위한 제1 검증 타겟과, 검사부의 높이 측정에 대한 정밀도를 검증하기 위한 제2 검증 타겟과, 검사부에서 조사되는 상기 패턴광 및 높이 측정을 위한 기준면을 검증하기 위한 제3 검증 타겟을 포함한다.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/