검사부의 이상 유무를 자동으로 검증하기 위한 검사대, 검사 시스템 및 검사 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 검사대는 검사체에 조사되어 반사된 광을 수신하는 검사부의 이상 여부를 검증하기 위한 검증 기준체를 포함하고, 검증 기준체는, 검사부의 이동에 대한 정밀도를 검증하기 위한 제1 검증 타겟과, 검사부의 높이 측정에 대한 정밀도를 검증하기 위한 제2 검증 타겟과, 검사부에서 조사되는 상기 패턴광 및 높이 측정을 위한 기준면을 검증하기 위한 제3 검증 타겟을 포함한다.