PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a microscopical needle-like body having an arbitrary shape of a distal end and a length and capable oh highly accurately being integrally molded into an array state.SOLUTION: This manufacturing method is characterized in that an inclination surface corresponding to the shape of the distal end part of the needle-like body is formed on a substrate, a support layer is formed on the substrate, an opening part is formed at a position corresponding to the inclination surface in the support layer, and the position corresponding to the inclination surface and the opening part is filled with a material. Consequently, the shape of the distal end of the needle-like body to be manufactured is controlled based on the shape of the inclination shape in a process for forming the inclination surface on the substrate layer. The needle-like body is manufactured by arbitrarily designing the length of the needle-like body to be manufactured by controlling the thickness of the support layer in the succeeding process for forming the support layer. In this case, a process for determining the shape of the distal end of the needle-like body and a process for determining the length of the needle-like body are not individually performed, so that the shape of the distal end of the needle-like body and the length are accurately controlled.COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT【課題】任意の先端形状および長さを持ち、高い精度でアレイ状に一体成型することのできる微細な針状体の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の針状体の製造方法は、基板に針状体の先端部の形状に相当する傾斜面を形成し、前記基板上に支持層を形成し、前記支持層の前記傾斜面に相当する位置に開口部を形成し、前記傾斜面および前記開口部に相当する位置に材料を充填することを特徴とする。このため、基板に傾斜面を形成する工程において、傾斜面の形状により、製造される針状体の先端部の形状を制御することができ、続く支持層を形成する工程において、支持層の厚みを制御することにより、製造される針状体の長さを任意に設計し、製造することが出来る。このとき、針状体の先端形状を決定する工程と、針状体の長さを決定する工程とを個別に行うことが出来るため、針状体の先端形状と長さを精度良く制御することが可能である。【選択図】 図1
