PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) compatibly achieving high-frequency vibration and low-voltage drive of a membrane.SOLUTION: CMUT includes: a lower electrode 12 formed on a circuit board 10； a cavity 20 formed on the lower electrode 12 between two layers of insulation films 13 and 15； and an upper electrode 16 formed on the insulation film 15, and disposed to overlap with the cavity 20 in plane view. The upper electrode 16 includes: an outer edge part and a central part having a first film thickness； and a groove part 23 located between the outer edge part and the central part and having a second film thickness thinner than the first film thickness.SELECTED DRAWING: Figure 2【課題】メンブレンの高周波振動と低電圧駆動を両立させた容量検出型超音波トランスデューサ（ＣＭＵＴ）を実現する。【解決手段】ＣＭＵＴは、基板１０上に形成された下部電極１２と、下部電極１２上に形成された２層の絶縁膜１３、１５との間に形成されたキャビティ２０と、絶縁膜１５上に形成され、平面視においてキャビティ２０と重なるように配置された上部電極１６とを有し、上部電極１６は、第１の膜厚を有する外縁部および中央部と、外縁部と前記中央部との間に位置し、第１の膜厚よりも薄い第２の膜厚を有する溝部２３とを備えている。【選択図】図２
