一种颅内深部电极记录器件及其制备方法、系统
- 专利权人:
- 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 发明人:
- 周志涛,陶虎,梁佶智,魏晓玲
- 申请号：
- CN202011054647.4
- 公开号：
- CN112244850A
- 申请日:
- 2020.09.29
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2021
- 代理人:
- 摘要：
- 本申请公开了一种颅内深部电极记录器件及其制备方法、系统，其包括柔性衬底，位于柔性衬底上第一金属层，其依次包括后端布线部、金属互连部以及多个间隔设置的电极监测布线部；覆盖在第一金属层上的柔性封装层；位于柔性封装层上的第二金属层，其中的每个电极监测位点的一端通过柔性封装层开设的通孔与电极监测布线部中对应的金属接触点连接，另一端暴露在外以用于监测颅内生物信号。本申请的颅内深部电极记录器件实现了器件体积最小、灵活性最大化，且大大降低了器件的有效弯曲刚度和组织位移，显著提高了其长期生物相容性。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
