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熱塩基発生剤、熱硬化性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜の製造方法および半導体デバイス
- 专利权人:
- 富士フイルム株式会社
- 发明人:
- 小山 一郎
- 申请号:
- JP20160529675
- 公开号:
- JPWO2015199219(A1)
- 申请日:
- 2015.06.26
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 熱硬化性樹脂の環化を低温で行うことができ、安定性に優れた熱硬化性樹脂組成物を調製できる熱塩基発生剤、熱硬化性樹脂組成物、硬化膜、硬化膜の製造方法および半導体デバイスを提供する。この熱塩基発生剤は、40℃以上に加熱すると塩基を発生する酸性化合物、および、pKa1が0〜4のアニオンとアンモニウムカチオンとを有するアンモニウム塩から選ばれる少なくとも一種を含む。酸性化合物は、アンモニウム塩および/または下記一般式(1)で表される化合物であることが好ましい。A1はp価の有機基を表し、R1は1価の有機基を表し、L1は(m+1)価の有機基を表し、mは1以上の整数を表し、pは1以上の整数を表す。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/