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プラズマを生成するための装置、方法及びかかる装置の使用方法
专利权人:
テッラプラズマ ゲーエムベーハー
发明人:
モーフィル,グレゴール,リー,ヤンファン,清水 鉄司,シュテフェス,ベルント
申请号:
JP2018506189
公开号:
JP2018528578A
申请日:
2016.07.25
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
The present invention relates to an apparatus and method for generating a plasma and a method of using such apparatus.The present invention relates to an apparatus (1) for generating a plasma, with at least one first electrode (3), at least one second electrode (5) spaced apart from the first electrode (3), and at least one first electrode Also provided is a voltage source (7) connected to at least one electrode (3, 59) selected from the first electrode (3) and the second electrode (5) so that a potential difference occurs between the second electrode (5) and the voltage source (7).At least one first electrode (3) and at least one second electrode (5) provide at least one discharge path (9) for discharge to a discharge region (11) between at least one first electrode (3) and at least one second electrode Define.In this case, the magnetic field device (15) is configured and arranged in association with at least one first electrode (3) and at least one second electrode (5) to generate a magnetic field in the discharge region (11), and the magnetic field vector (b) of the magnetic field is a discharge path (9).Diagram本発明は、プラズマを生成するための装置、方法及びかかる装置の使用方法に関する。本発明はプラズマを生成するための装置(1)に関し、少なくとも1つの第一電極(3)と、第一電極(3)から間隔を隔てて配置される少なくとも1つの第二電極(5)と、少なくとも1つの第一電極(3)と少なくとも1つの第二電極(5)との間に電位差が電圧源(7)によって発生するように、第一電極(3)及び第二電極(5)から選択される少なくとも1つの電極(3、59)に接続される電圧源(7)とを備える。少なくとも1つの第一電極(3)及び少なくとも1つの第二電極(5)は、少なくとも1つの第一電極(3)と少なくとも1つの第二電極(5)との間の放電領域(11)に放電のための少なくとも1つの放電路(9)を画定する。この場合、磁場装置(15)は、放電領域(11)に磁場を発生させるために、少なくとも1つの第一電極(3)及び少なくとも1つの第二電極(5)に関連して構成及び配置され、磁場の磁場ベクトル(B)は、放電路(9)に対して斜めに配向されている。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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