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Transport stage of electron microscope
- 专利权人:
- (주)코셈
- 发明人:
- 이영노,김용주
- 申请号:
- KR20150083826
- 公开号:
- KR101718350(B1)
- 申请日:
- 2015.06.15
- 申请国别(地区):
- 韩国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 본 발명은 전자현미경의 이송 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대물렌즈가 설치되는 케이스의 하부에 설치되어 상기 대물렌즈 내부와 진공상태가 유지되도록 하는 진공챔버와, 진공챔버의 일측벽에 결합되는 플레이트로서, 상기 플레이트의 일측에 일정형상의 관통공이 형성되며, 내측면이 상기 진공챔버의 일측 내측벽면으로 형성되는 베이스플레이트와, 상기 관통공이 밀폐되도록 상기 베이스플레이트의 외측면상에 밀착되는 밀착면이 형성되고, 상기 베이스플레이트의 외측면에서 X축방향으로 축이동되는 이송베드와, 상기 관통공을 관통하여 상기 이송베드의 밀착면에 결합되며, 상기 관통공의 내부에서 Y축방향으로 축이동되는 구동로드와, 상기 진공챔버내에서 상기 구동로드의 일측에 결합되어 상부에 시료가 안착되는 안착면이 형성되는 안착부를
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/