A rotary valve having sliding members for supplying a water vapor-containing processing gas to processing steps. The rotary valve has a mechanical seal mechanism having the sliding members (1, 2 4, 6) in which flow passages (8, 9, 10) are opened and having sliding surfaces sliding on each other. The mechanism changes over flow passages (8, 9, 10) by sliding while sealing fluid by applying pressure to the sliding surfaces. The sliding surfaces of the sliding members (1, 2 4, 6) are formed of hydrophobic members (2, 4) with different hardness.Une vanne dalimentation rotative ayant des éléments coulissants pour alimenter un gaz de traitement contenant de la vapeur deau à des étapes de traitement. La vanne dalimentation rotative dispose dun mécanisme de garniture mécanique ayant les éléments coulissants (1, 2 4, 6) dans lesquels des passages (8, 9, 10) sont ouverts et ayant des surfaces coulissantes coulissant lune sur lautre. Le mécanisme change les passages (8, 9, 10) en coulissant tout en scellant le fluide en appliquant une pression sur les surfaces coulissantes. Les surfaces coulissantes des éléments coulissants (1, 2 4, 6) sont formées déléments hydrophobes (2, 4) ayant une dureté différente.水蒸気を含む処理ガスを複数の処理工程へ供給するための摺動部材を具備する回転バルブを提供する。流路(8,9,10)が開口し且つ互いに摺動する摺動面を有する摺動部材(1,2;4,6)を備え、摺動面を与圧することで流体をシールしながら摺動することにより前記流路(8,9,10)を切り替えるメカニカルシール機構を備えた回転バルブであり、該摺動部材(1,2;4,6)の摺動面側が硬度の異なる疎水性部材(2、4)からなることを特徴とする回転バルブである。
