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PIEZOELECTRIC DEVICE, FORMING METHOD OF PIEZOELECTRIC DEVICE, AND ULTRASONIC APPARATUS
专利权人:
SEIKO EPSON CORP;セイコーエプソン株式会社
发明人:
MATSUDA YOJI,松田 洋史
申请号:
JP2015232820
公开号:
JP2017103267A
申请日:
2015.11.30
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric device capable of reducing occurrence of short circuit across a first wiring and a second wiring due to a residue of a metal film formed on a piezoelectric body.SOLUTION: A piezoelectric device 1 includes: a piezoelectric body 4 formed on a substrate 2 having a plurality of sides; a first wiring 6 formed from the piezoelectric body 4 to the substrate 2; and a second wiring 7 formed from the piezoelectric body 4 to the substrate 2. Viewing from a thickness direction of the piezoelectric body 4, a second side 4b and a fourth side 4d, with which the piezoelectric body 4 and the first wiring 6 are overlapped, and a first side 4a and a third side 4c, with which the piezoelectric body 4 and the second wiring 7 are overlapped, are the sides different from each other.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】圧電体に設置された第1配線と第2配線とが金属膜の残渣により短絡することを低減できる圧電素子を提供する。【解決手段】圧電素子1は基板2上に設けられ複数の辺を有する圧電体4と、圧電体4から基板2にかけて設けられた第1配線6と、圧電体4から基板2にかけて設けられた第2配線7と、を備え、圧電体4の厚さ方向からみて、圧電体4と第1配線6とが重なる第2辺4b、第4辺4dと、圧電体4と第2配線7とが重なる第1辺4a、第3辺4cと、が異なる辺になっている。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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