PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology that can stably secure circulation efficiency in a liquid circulating apparatus.SOLUTION: A liquid circulating apparatus for circulating liquid in non-contact with the atmosphere includes: a pump chamber whose volume is changed by a volume changing means a liquid resistance element for restraining or blocking the flow of liquid toward an inlet passage from an inlet passage pump chamber which is an inflow passage of liquid to the pump chamber an outlet passage which is an outflow port of liquid from the pump chamber a circulating passage with a length L for circulating liquid from the outlet passage to the inlet passage and a pressure regulating mechanism for storing the liquid of volume Vb during the non-operation of the volume changing means and supplying the stored liquid as a part of the circulating liquid during the operation of the volume changing means. When the compliance of the circulating passage is set as Cs, and the pressure of the liquid in the circulating passage in a position of length x from the outlet passage during the operation of the volume changing means is set as P(x), the volume Vb satisfies a predetermined relationship.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】液体循環装置において循環効率を安定して確保することのできる技術を提供する。【解決手段】液体を大気と非接触で循環させる液体循環装置であって、容積変更手段によって容積が変化するポンプ室と、該ポンプ室への液体の流入路である入口流路ポンプ室から入口流路へ向かう液体の流れを抑制または抑止する液体抵抗要素と、ポンプ室からの液体の流出口である出口流路と、出口流路から入口流路へ液体が循環する長さLの循環流路と、容積変更手段の非動作時に、体積Vbの液体を収容するとともに、容積変更手段の動作時に、収容している液体を循環している液体の一部として供給する圧力調整機構とを備え、循環流路のコンプライアンスをCsとし、出口流路から長さxの位置の循環流路における容積変更手段の動作時の液体の圧力をP(x)とした場合に、体積Vbは、所定の関係を満たす。【選択図】図5
