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弾性表面波センサ
- 专利权人:
- 京セラ株式会社;国立大学法人大阪大学
- 发明人:
- 田中 浩康,栗岡 秀治,民谷 栄一,齋藤 真人
- 申请号：
- JP20170014008
- 公开号：
- JP2017072620(A)
- 申请日:
- 2017.01.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】検体液のＩＤＴ電極上への流れを好適に抑制できる弾性表面波センサを提供する。【解決手段】ＳＡＷセンサ１は、圧電基板２３と、該圧電基板２３の上面に位置し、圧電基板２３上の検出部（検出領域２３ａ）を挟んで互いに離間している第１ＩＤＴ電極４５および第２ＩＤＴ電極４７と、第１ＩＤＴ電極４５および第２ＩＤＴ電極４７を覆っている保護膜５３と、第１ＩＤＴ電極４５、第２ＩＤＴ電極４７および検出部を、それらの上方に空間２９を介するようにして覆っているカバー２５と、を有している。カバー２５の下面において、検出部の少なくとも一部に対向する検出部対向面２５ｂ（フィルム３５の下面）は、第１ＩＤＴ電極４５および第２ＩＤＴ電極４７に対向する一対の電極対向面２５ａ（カバー本体３３の下面）よりも圧電基
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
