用于位移直线度测量的激光干涉系统
- 专利权人:
- 上海理工大学
- 发明人:
- 侯文玫,乐燕芬,句爱松
- 申请号：
- CN201410746892.X
- 公开号：
- CN104613902B
- 申请日:
- 2011.10.14
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 李湘`姜甜
- 摘要：
- 本发明涉及一种用于位移直线度测量的激光干涉系统，包含激光源、随被测件一起运动的楔角棱镜、位于该楔角棱镜一侧的光反射装置、位于所述楔角棱镜的另一侧与所述激光源之间的光干涉装置以及相位检测装置。其中，激光源产生频率稳定的入射光束，入射光束在光干涉装置的作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角和光反射装置反射，最后被输入相位检测装置，以相位差的变化量确定被测件的直线度。本发明的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
