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用于借助绝缘薄层以电方式进行力测量的方法和装置
- 专利权人:
- 简·克莱姆
- 发明人:
- 简·克莱姆
- 申请号：
- CN201680041664.X
- 公开号：
- CN107873081A
- 申请日:
- 2016.07.09
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 杨靖`车文
- 摘要：
- 本发明涉及一种用于以电方式测量力F的装置，其至少在两个压紧的金属电极(1)和金属电极(3)之间作用，其特征在于，金属电极由硬质合金、钢或在陶瓷体、玻璃体或塑料体上的低欧姆金属层构成，具有在几毫欧姆至小于等于十欧姆的范围内的电阻和小于等于400纳米的平均粗糙度Ra，金属电极在接触面处具有不依赖于力的传导能力，并且在等于、小于金属电极(1)和金属电极(3)的千分之0.1的范围内的最小相对变形的情况下，力直接作用到形状锁合地布置在金属电极(1)和金属电极(3)之间的绝缘薄层(2)上或多分层绝缘薄层(2)上，绝缘薄层或多分层绝缘薄层由氧化锌或随机还原的氧化铝Al2Ox，其中x＝2.4至x＝2.8，或碳化硅或DLC层[类金刚石碳]构成，并且不依赖于待测量的力流地布置且在紧固元件(5)的恒定的保持力下固定的参考金属电极(4)通过具有正好相
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
