用于借助绝缘薄层以电方式进行力测量的方法和装置

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专利权人:

简·克莱姆

发明人:

简·克莱姆

申请号：

CN201680041664.X

公开号：

CN107873081A

申请日:

2016.07.09

申请国别(地区):

中国

年份:

2018

代理人:

杨靖`车文

摘要：

本发明涉及一种用于以电方式测量力F的装置，其至少在两个压紧的金属电极(1)和金属电极(3)之间作用，其特征在于，金属电极由硬质合金、钢或在陶瓷体、玻璃体或塑料体上的低欧姆金属层构成，具有在几毫欧姆至小于等于十欧姆的范围内的电阻和小于等于400纳米的平均粗糙度R_a，金属电极在接触面处具有不依赖于力的传导能力，并且在等于、小于金属电极(1)和金属电极(3)的千分之0.1的范围内的最小相对变形的情况下，力直接作用到形状锁合地布置在金属电极(1)和金属电极(3)之间的绝缘薄层(2)上或多分层绝缘薄层(2)上，绝缘薄层或多分层绝缘薄层由氧化锌或随机还原的氧化铝Al₂O_x，其中x＝2.4至x＝2.8，或碳化硅或DLC层[类金刚石碳]构成，并且不依赖于待测量的力流地布置且在紧固元件(5)的恒定的保持力下固定的参考金属电极(4)通过具有正好相

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/