Provided is a charged particle beam irradiation device capable of suppressing size increases and capable of securing a sufficient irradiation field. The charged particle beam irradiation device according to the present embodiment comprises a first scanning electromagnet part which deflects a charged particle beam that is incident from a first direction to a second direction substantially orthogonal to the first direction, and a second scanning electromagnet part which deflects the charged particle beam to a third direction substantially orthogonal to the first direction and the second direction. The first and second scanning electromagnet parts are arranged parallel to the first direction.Linvention concerne un dispositif dirradiation de faisceau de particules chargées qui est capable de supprimer des augmentations de dimension et de garantir un champ dirradiation suffisant. Le dispositif dirradiation de faisceau de particules chargées, selon le présent mode de réalisation, comprend une première partie délectro-aimant de balayage, qui dévie un faisceau de particules chargées qui est incident dune première direction à une deuxième direction sensiblement orthogonale à la première direction, et une seconde partie délectro-aimant de balayage, qui dévie le faisceau de particules chargées vers une troisième direction sensiblement orthogonale à la première direction et à la deuxième direction. Les première et seconde parties délectro-aimant de balayage sont disposées parallèlement à la première direction.大型化を抑制することができるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供する。本実施形態による荷電粒子ビーム照射装置は、荷電粒子ビームが入射する第1方向に実質的に直交する第2方向に前記前記荷電粒子ビームを偏向する第1走査電磁石部と、前記第1方向および前記第2方向に実質的に直交する第3方向に前記荷電粒子ビームを偏向する第2走査電磁石部と、を備え、前記第1および第2走査電磁石部は、前記第1方向に対して並列に配置される。
