您的位置：
首页
>
农业专利
>
详情页
一种植入式蓝宝石基二维神经激励芯片及其制备方法
- 专利权人:
- 东南大学
- 发明人:
- 孙小菡,董纳,陈源源,蒋卫锋
- 申请号：
- CN201210574025.3
- 公开号：
- CN103083827B
- 申请日:
- 2012.12.26
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 一种植入式蓝宝石基二维神经激励芯片及其制备方法。所述芯片为：在蓝宝石衬底的一个表面上设有电致发光阵列，在所述衬底另一个表面上设有蓝宝石探针阵列，作为所述芯片的可植入部分，所述探针阵列中的探针单元与所述电致发光阵列中的发光单元相对应。所述制备方法包括：在厚度大于1毫米的盖宝石衬底的一个表面依次制备氮化镓缓冲层、硅掺杂n型氮化镓层、多级氮化镓/铟镓氮量子阱及镁掺杂p型氮化镓层，经紫外光刻和刻蚀形成所述电致发光阵列，并采用紫外光刻、金属淀积等制备阴极和阳极；采用紫外曝光的光刻胶保护电致发光阵列，在所述衬底另一个表面上依次制备所述蓝宝石探针阵列的探头阵列和波导阵列，以形成蓝宝石探针阵列。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
