INDUSTRY-ACADEMIA COOPERATION GROUP OF SEJONG UNIVERSITY;세종대학교산학협력단
发明人:
LEE, WON JUN,이원준
申请号：
KR1020110017088
公开号：
KR1020120097712A
申请日:
2011.02.25
申请国别(地区):
KR
年份:
2012
代理人:
摘要：
PURPOSE: A target for forming a lithium-containing thin film is provided to manufacture a target for manufacturing a thin film satisfying stoichiometry even in case lithium is lost during post process like sintering and vacuum evaporation. CONSTITUTION: A target for forming a lithium-containing thin film comprises: a step(S10) of forming a raw material containing excessive lithium by adding lithium-containing material into lithium-containing or lithium-non containing raw material powder satisfying stoichiometry； a step(S20) of primary heat-treating the raw material powder containing excessive lithium； a step(S30) of manufacturing a mold by pressurizing and molding the raw material containing the pulverized excessive lithium； and a step(S50) of secondary heat-treating the mold. [Reference numerals] (S10) Forming raw materail containing excessive lithium； (S20) First heat-treating the raw material； (S30) Pulverizing the raw material； (S40) Manufacturing a molded product by pressurizing and molding the raw material； (S50) Manufacturing a target for manufacturing a thin film by second heat-treating the molde product； (S60) Forming a thin film by evaporating the target본원은, 박막 전지용 리튬-함유 박막 형성용 타겟, 상기 타겟의 제조 방법, 및 상기 타겟을 이용하여 제조된 리튬-함유 박막을 포함하는 리튬 박막 전지에 관한 것으로서, 상기 타겟을 이용하여 화학양론비를 만족하는 리튬 함유 박막을 제조하는 것이 가능하며, 상기 타겟의 제조 방법은, 화학양론비를 만족하는 리튬-함유 또는 리튬-비함유 원료분말에 리튬-함유 물질을 첨가하여 과잉의 리튬을 함유한 원료분말을 형성하는 것； 상기 과잉의 리튬을 함유한 원료분말을 1차 열처리하는 것； 상기 1차 열처리된 과잉의 리튬을 함유한 원료분말을 분쇄하는 것； 상기 분쇄된 과잉의 리튬을 함유한 원료분말을 가압 성형하여 성형체를 제조하는 것； 및, 상기 성형체를 2차 열처리하는 것: 을 포함한다.
