医疗杀菌消毒用外延结构制备方法
- 专利权人:
- 李丹丹
- 发明人:
- 李丹丹
- 申请号：
- CN201911160852.6
- 公开号：
- CN110854244A
- 申请日:
- 2019.23.11
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种医疗杀菌消毒用外延结构制备方法,包括:提供一置于托盘上的基板;在所述基板上生长过渡层;在所述过渡层上生长第一半导体层;在所述第一半导体层上生长有源层;在所述有源层上生长第二半导体层;所述第一半导体层包括第一本征层和第二本征层;所述第一本征层生长过程中托盘旋转速度保持逐渐降低状态,所述第二本征层生长过程中托盘旋转速度保持逐渐升高状态。本发明通过改变三维模式生长的第一本征层和二维模式生长的第二本征层生长过程中托盘旋转速度,使得第一本征层形成的岛状结构更为均匀一致,第一本征层与第二本征层接触界面位错密度低、应力小,得到的本征层结晶质量高,漏电、抗静电等电性性能好。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
