医疗杀菌消毒用外延结构制备方法
- 专利权人:
- 李丹丹
- 发明人:
- 李丹丹
- 申请号：
- CN201911096760.6
- 公开号：
- CN110828622A
- 申请日:
- 2019.11.11
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种医疗杀菌消毒用外延结构制备方法,包括:提供一置于托盘上的基板;在所述基板上生长过渡层;在所述过渡层上生长第一半导体层;在所述第一半导体层上生长有源层;在所述有源层上生长第二半导体层;所述有源层包括交替生长在所述第一半导体层上的多个量子垒层和多个量子阱层,生长过渡层、第一半导体层、有源层、第二半导体层过程中所述托盘保持旋转状态,有源层生长过程中托盘旋转速度以渐变方式改变。本发明生长有源层过程中托盘旋转速度以渐变方式改变,可以使铝含量以曲线形式变化,产生的势磊、势阱以平滑方式过渡,更利于电子或空穴的跃迁并复合发光,增加内量子效率,进而提高杀菌消毒效果。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
