医疗杀菌消毒用外延结构制备方法
- 专利权人:
- 李丹丹
- 发明人:
- 李丹丹
- 申请号：
- CN201911160866.8
- 公开号：
- CN110854245A
- 申请日:
- 2019.23.11
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供了一种医疗杀菌消毒用外延结构制备方法,包括:提供一置于托盘上的基板;在所述基板上生长第一过渡层;在所述第一过渡层上生长第一半导体层;在所述第一半导体层上生长第二过渡层;在所述第二过渡层上生长有源层;在所述有源层上生长第二半导体层;所述第二过渡层包括交替层叠设置的前垒层和前阱层,前垒层中铝含量随厚度逐渐升高,前阱层铟含量随厚度逐渐降低,所述第一半导体层生长过程中托盘旋转速度与生长所述第二过渡层过程中托盘旋转速度相同。本发明提供的外延制备方法可减少由第一半导体层向第二过渡层转变时间,降低不同步骤转变过程中的裂片风险。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
