Provided is a sterilization method, capable of sterilization treatment with high sterilization efficiency regardless of the humidity of air, which is ozone raw material gas, by using ozone generated from the air. The sterilization method of the present invention does not include light in the wavelength range for decomposing ozone, and by irradiating ozone source gas made of air with ozone generating light, which is light having a wavelength of 200 nm or less, ozone containing air is obtained and an object to be sterilized is exposed to the ozone containing air, and thus the relative humidity of the ozone source gas is 60% RH or less in the sterilization method for sterilizing the sterilizing object.COPYRIGHT KIPO 2018(과제) 오존 원료 가스인 공기의 습도에 상관없이, 공기로부터 생성한 오존을 이용하여, 높은 살균 효율로 살균 처리를 행할 수 있는 살균 방법을 제공하는 것.(해결 수단) 본 발명의 살균 방법은, 오존을 분해하는 파장역의 광을 포함하지 않고, 또한 파장 200nm 이하의 광인 오존 생성용 광을, 공기로 이루어지는 오존 원료 가스에 대해 조사함으로써 오존 함유 공기를 얻고, 얻어진 오존 함유 공기에 살균 대상물을 폭로시킴으로써, 상기 살균 대상물을 살균하는 살균 방법에 있어서, 상기 오존 원료 가스의 상대 습도가 60%RH 이하인 것을 특징으로 한다.
