PROBLEM TO BE SOLVED: To improve sterilization efficiency in sterilization using ozone by devising a substance added to the ozone.SOLUTION: A sterilizer 100, which sterilizes an object W, includes a chamber 110, and a sterilization gas introduction part 120 which introduces ozone and a gas capable of generating hydroxy radicals by coming into contact with ozone into the chamber 110. The sterilization gas introduction part 120 comprises an oxygen generation part 210, a pump 212, an ozone generation part 214, a precursor storage part 220, a valve 222, and a radical gas generation part 224.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】オゾンを用いた殺菌において、オゾンに添加する物質を工夫することで、殺菌効率を向上することができる。【解決手段】殺菌装置100は、対象物Wを殺菌する殺菌装置100であって、チャンバ110と、オゾン、および、オゾンに接触させることでヒドロキシラジカルを発生し得るガスをチャンバ110内に導入する殺菌ガス導入部120と、を備える。殺菌ガス導入部120は、酸素発生部210、ポンプ212、オゾン発生部214、前駆体貯留部220、バルブ222、ラジカルガス発生部224を含んで構成される。【選択図】図1
