본 발명은 전자빔 경로상에 광경로를 배치하면서도 자기장 렌즈 부위와 근접하여 시료가 위치할 수 있도록 자기장 생성위치를 조절할 수 있는 폴피스를 구비한 요크부를 배열하여 전자현미경의 분해능이 저하되지 않아 고분해능으로 관찰이 가능한 광-전자 융합현미경에 관한 것으로, 다양한 형태의 세미 인렌즈(Semi Inlens)를 사용하거나 혹은 폴피스 사이 공간에 광반사 거울을 배열하여 자기장 렌즈와 시료간 거리를 유지함으로써, 전자현미경 대물렌즈의 초점거리를 실질적으로 증가시키지 않아 전자현미경 영상의 고분해능을 획득하는 효과를 얻는다.
