使用定位标记的位置误差测量方法和装置及根据使用定位标记的位置误差测量结果进行位置修正的加工装置
- 专利权人:
- 三菱电机株式会社
- 发明人:
- 森俊博
- 申请号：
- CN98813749.6
- 公开号：
- CN1152232C
- 申请日:
- 1998.12.22
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2004
- 代理人:
- 沈昭坤
- 摘要：
- 以预定精度相对于图像信息检测装置(1、2)对定位标记(21-24)进行定位并加以固定，在狭视场的图像信息检测装置(1)可检测定位标记(21-24)时，根据该图像信息求被加工件(7)的位置误差；在狭视场的图像信息检测装置(1)不能检测定位标记(21-24)时，由宽视场的图像信息检测装置(2)检测定位标记(21-24)的图像信息，根据该图像信息得到的被加工件(7)的位置误差，修正宽视场的图像信息检测装置(2)与被加工件(7)的相对位置；由狭视场的图像信息检测装置检测定位标记(21-24)的图像信息，根据该图像信息求被加工件(7)的位置误差。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
