[Challenge] I drive efficiently capacitive load even at the upper limit or duty ratio in the vicinity of the lower limit. A drive waveform signal is pulse-modulated to generate a modulated signal, and applies a drive signal generated by passing the smoothing filter after the power amplifier to the capacitive load. Under conditions in which the direction of the current flowing through the smoothing filter from the digital power amplifier is reversed in one modulation period, the carrier so that the absolute value of the maximum value and the minimum value of current that in one modulation within a period is equal to or greater than a predetermined threshold value I want to change the frequency. The absolute value of the maximum and minimum values of the current flowing through the smoothing filter in one modulation period is below the predetermined threshold, a large loss occurs during power amplification. Accordingly, Yare by changing the carrier frequency so as not to fall below a predetermined threshold, it is possible to drive the capacitive load by performing efficient power amplification. [Selection Figure] Figure 15【課題】上限あるいは下限付近のデューティー比でも効率よく容量性負荷を駆動する。【解決手段】駆動波形信号をパルス変調して変調信号を生成し、電力増幅した後に平滑フィルターを通すことによって生成した駆動信号を容量性負荷に印加する。デジタル電力増幅器から平滑フィルターに流れる電流の方向が一変調周期内で逆転する条件下では、その一変調周期内での電流の最大値および最小値の絶対値が所定の閾値以上となるようにキャリア周波数を変更する。一変調周期内で平滑フィルターを流れる電流の最大値および最小値の絶対値が所定の閾値を下回ると、電力増幅時に大きな損失が発生する。従って、所定の閾値を下回らないようにキャリア周波数を変更してやれば、効率よく電力増幅を行って容量性負荷を駆動することが可能となる。【選択図】図15
