PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a carrier ripple from being superimposed on a drive signal of a capacitive load.SOLUTION: A drive waveform signal is subjected to pulse modulation to generate a modulation signal, and the generated signal is power-amplified and passes through a smoothing filter to generate a drive signal. The drive signal thus generated is applied to the capacitive load. The drive signal is subjected to phase forwarding compensation to generate a feedback signal, and the generated signal is fed back to the drive waveform signal. A smoothing filter and the capacitive load are connected to each other by a replaceable wiring. Amplitude information about the amplitude of the carrier ripple is obtained between the wiring and the capacitive load, and a carrier frequency is set on the basis of the information, and pulse modulation is performed. Thus, since pulse modulation is executed at a carrier frequency in which the carrier ripple is suppressed, even if the circuit is replaced, the carrier ripple can be prevented from being superimposed on a drive signal.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】容量性負荷の駆動信号にキャリアリップルが重畳することを回避する。【解決手段】駆動波形信号をパルス変調して変調信号を生成し、電力増幅した後に平滑フィルターを通すことによって生成した駆動信号を容量性負荷に印加する。また、駆動信号に位相進み補償を行って帰還信号を生成し、駆動波形信号に負帰還させる。平滑フィルターと容量性負荷とは取り替え可能な配線によって接続される。配線と容量性負荷との間でキャリアリップルの振幅に関する振幅情報を取得し、その情報に基づいてキャリア周波数を設定してパルス変調を行う。こうすれば、配線が取り替えられた場合でも、キャリアリップルが抑制されるキャリア周波数でパルス変調されるので、駆動信号にキャリアリップルが重畳することを回避できる。【選択図】図6
