전자선 레지스트가 도포된 웨이퍼 (W) 를 전자 빔으로 노광하는 전자 빔 노광 장치 (100) 는, 웨이퍼 (W) 를 유지하여 이동 가능한 스테이지 (22) 와, 전자 빔을 웨이퍼 (W) 에 조사하는 전자 빔 광학계 (32) 와, 전자 빔 광학계의 광축 방향에 관한 웨이퍼 (W) 측에 웨이퍼 (W) 에 소정의 간극을 개재하여 대향하여 배치되고, 전자 빔 광학계 (32) 로부터의 전자 빔이 통과하는 개구가 형성된 개구 부재 (16) 를 구비하고 있다.
