- - Preparing method of the core-shell structured carbon nanotube channel structure and carbon nanotube channel structure by the same method and carbon nanotube transistor having the same

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专利权人:

한국생산기술연구원

发明人:

정영규,이창우,이재혁,김재호

申请号：

KR20160033985

公开号：

KR101700244(B1)

申请日:

2016.03.22

申请国别(地区):

韩国

年份:

2017

代理人:

摘要：

본 발명은 트랜지스터의 채널로서 적용할 수 있는 코어-쉘 구조의 탄소나노튜브 채널 구조체의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 용액상에서 화학적인 표면조작 및 초분자적 상호작용을 통해 탄소나노튜브의 양끝 단을 제외한 표면에 선택적으로 금속산화물 절연층을 코팅시킴으로써 소스 및 드레인 전극과의 전기적 접속을 위해 추가적인 반도체공정을 필요로 하지 않는 코어-쉘 구조의 탄소나노튜브 채널 구조체 제조방법 및 이에 의해 제조된 코어-쉘 구조의 탄소나노튜브 채널 구조체 및 이를 포함하는 탄소나노튜브 트랜지스터에 관한 기술을 제공한다.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/