The supply (A scan no mirror section) distinct profiles of reflectance versus optical path difference, the output at selected intervals of the optical path difference, or give the difference between the optical path difference and the negative optical path difference of positive spectral interferometry and spectral interference apparatus for providing is provided. The apparatus includes an object optical system that transmits the target object (55) the beam from a light source to generate the object beam and the reference optical system for generating a reference beam. Displacement means for producing a gap (g) between the object beam and the reference beam (42 (41) and) (57) is provided. And receiving the beam relative displacement of two optical spectral dispersion means such as a prism and a diffraction grating (7) is dispersed in the read element on such a CCD spectral components thereof. Generates an optical delay inherent in the wave train between the object beam and the reference beam, is used with an optical path difference of the interferometer in the optical retardation of the unique combination of the optical spectrum dispersing means and the displacement means, the interferometer It is possible to generate the read elements on the channeled spectrum for the optical path difference.反射率対光路差の明確なプロファイル(ミラー項の無いAスキャン)を供給し、正の光路差と負の光路差との間に差を付けるか、又は光路差の選択された間隔で出力を与えるためのスペクトル干渉装置及びスペクトル干渉法が提供される。その装置は、光源からのビームを目標物体(55)に送出し、物体ビームを生成する物体光学系と、参照ビームを生成する参照光学系とを備える。物体ビーム(41’)及び参照ビーム(42’)との間に間隙(g)を生成するための変位手段(57)が設けられる。回折格子及びプリズムのような光スペクトル分散手段(7)が、2つの相対的に変位したビームを受光し、それらのスペクトル成分をCCDのような読取り素子上に分散させる。変位手段及び光スペクトル分散手段の組み合わせは、物体ビーム及び参照ビームの波列間に固有の光学的遅延を生成し、この固有の光学的遅延を干渉計内の光路差とともに用いて、干渉計内の光路差のためのチャネルドスペクトルを読取り素子上に生成することができる。
