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被覆表面検査のためのガス放出方法
专利权人:
エスアイオーツー・メディカル・プロダクツ・インコーポレイテッド
发明人:
トーマス・イー・フィスク,ジョン・ファーガソン,ジョナサン・アール・フリードマン
申请号:
JP2012510982
公开号:
JP2012526921A
申请日:
2010.05.12
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要:
Provides a method of coating a substrate surface by PECVD, the method comprises the method of generating a plasma from the gaseous reactants consisting of O2 and optionally the organosilicon precursor. By setting the ratio of O2 to organic silicon precursor gaseous reactants inside and lubricity of the coating material, blocking and / or hydrophobic, is determined by the setting of the power used for plasma generation and / or. In particular, to provide a lubricious coating material produced by the above method. Container is covered by previously described methods, and use of such a container to protect the compound or composition is contained in the coating vessel above the chemical action and / or mechanical uncoated container surface or the toll collection I also provided.PECVDによる基板表面の被覆方法を提供し、当該方法は、有機ケイ素前駆体と随意にO2からなるガス状反応物質からプラズマを生成する手法からなる。当該被覆材の潤滑性、疎水性および/または遮断性は、ガス状反応物質内のO2対有機ケイ素前駆体の比率の設定により、および/またはプラズマ生成に使用する電力の設定により決定される。特に、前述方法により生成される潤滑性被覆材を提供する。前述方法により被覆される容器、および非被覆容器表面の機械的および/または化学的作用から前述の被覆容器内に含有されるまたは収受される化合物または組成物を保護するためのかかる容器の使用法も提供する。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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