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PECVD COATING USING AN ORGANOSILICON PRECURSOR
专利权人:
에스아이오2 메디컬 프로덕츠, 인크.
发明人:
펠츠 존 티,피스크 토마스 이,아브람스 로버트 에스,팽본 로버트 제이,사고나 피터 제이
申请号:
KR1020187001918
公开号:
KR1020036510000B1
申请日:
2010.05.12
申请国别(地区):
KR
年份:
2019
代理人:
摘要:
There is provided a method of coating a substrate surface by PECVD comprising generating a plasma from a gaseous reactant comprising an organosilicon precursor and optionally O2. The lubricity, hydrophobicity and / or barrier properties of the coating are set by setting the ratio of O2 to the organosilicon precursor in the gaseous reactant and / or by setting the power used to generate the plasma. In particular, lubricative coatings prepared by the above method are provided. Also provided is a container coated by the method and the use of the container to protect the coated or contained compound or composition contained in the coated container from mechanical and / or chemical influences of the uncoated container material surface.유기실리콘 전구체 및 선택적으로 O2를 포함하는 가스 반응물질로부터 플라즈마를 생성하는 단계를 포함하는 PECVD에 의한 기판 표면을 코팅하는 방법이 제공된다. 코팅의 윤활성, 소수성 및/또는 차단성은 가스 반응물질 내의 O2대 유기실리콘 전구체의 비를 설정하고/하거나 플라즈마를 생성하기 위해 사용되는 전력을 설정함으로써 설정된다. 특히, 상기 방법에 의해 제조된 윤활성 코팅이 제공된다. 또한, 상기 방법에 의해 코팅된 용기 및 상기 코팅된 용기 내에 담겨지거나 수납된 화합물 또는 조성물을 코팅되지 않은 용기 물질 표면의 기계적 및/또는 화학적 영향으로부터 보호하는 상기 용기의 용도가 제공된다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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